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电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法

发表时间:2023-05-08 14:42作者:普洛帝

近期普洛帝测控液体颗粒计数器部门接到好几个咨询电话,都是咨询管控电子级硫酸的仪器

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电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法近期普洛帝测控液体颗粒计数器部门接到好几个咨询电话,都是咨询管控电子级硫酸的仪器。

什么是电子级硫酸?电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。

电子级硫酸有哪些应用?电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒,无机残留物和碳沉积物。

为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控?电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品,主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子须达到 ppt ppt=1ng/Kg=10-12)。目前,我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口,严重制约我国芯片产业发展,是主要卡脖子产品之一。近两年,我国电子级硫酸制备技术取得突破,产品质量显著提高,电子级硫酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt,超越了国际 SEMI-C12(金属离子<100ppt级别,与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级(金属离子<10ppt),达到国内领先、世界一流水平。基于上述原因,我国新的电子级硫酸标准将于 2023 5 1 日正式施行,也将颗粒管控提到了标准管控层面。

电子级硫酸管控有哪些难点?有 2 个,一个是硫酸的腐蚀性,一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子级硫酸的腐蚀性很强,这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测,接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测,稀释又会存在手动稀释和自动稀释的问题,都是给电子级硫酸检测无形中增加了麻烦。

如何解决?针对这 2 个问题,普洛帝研发团队经过反复试验,攻破了这 2 个难点,将电子级硫酸的检测浓度提升到 98%。在高浓度强酸性的情况下,依然可以实现颗粒管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号 PMT-2,选用 0.1-1.0um检测范围的强腐蚀性传感器,实现了电子级硫酸的颗粒管控目的。目前,已经在江苏、广东等地的电子级硫酸生产企业得到了应用

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