电子级双氧水的颗粒管控浅议发表时间:2023-05-08 14:45 什么是双氧水 双氧水也叫过氧化氢,过氧化氢是一种重要的化工原料,化学式为H2 O2。 纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体,可任意比例与水混溶,是一种强氧化 剂 ,水溶液俗称双氧水,为无色透明液体。双氧水的生产方法主要有电 解法、蒽醌法、异丙醇法、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等,蒽醌法 是生产双氧水的主要方法, 国内 99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。 双氧水的作用 双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级、食品级、工业级等。电 子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂,在半导体制程前 端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂, 蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于高级绝缘层制取,电镀液无机杂质去 除 ,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻 和清洗。从行业产量来看, 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44 万 吨 , 同比增长 32.0%。
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